SEM 衬度
- 在扫描电镜中，正是由于衬度的存在，我们才能够从图像中分辨出不同区域的特征差异。
形貌衬度
- 利用对样品表面形貌敏感的信号进行成像所获得的衬度，能够从微观尺度上反映出样品表面的倾斜、台阶、凹坑和凸起等特征，是分析样品表面形貌特征的重要衬度
成分衬度
- 使用背散射电子成像时会产生明显的成分衬度，其信号强度主要与原子序数有关;当观察区域包含多种元素时，则信号强度与该区域的平均原子序数有关
- 原子序数(或平均原子序数)越大的区域衬度越亮
- 均质样品，即成分均匀，那么无论样品中有多少种元素，或不同元素之间的原子序数差异有多大，但由于各种元素是均匀混合的，基本观察不到成分衬度
- 要获取成分衬度要尽量使得样品表面平整，消除形貌衬度的影响